F50、F60用チャック

各種ウエハーサイズのチャック

フィルメトリクスのアクセサリーについての詳細は、03-4578-9347にお電話頂くか、お問い合せフォームにてお問い合わせ下さい。

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    F50チャック-

    100mm

    2インチ、3インチ、4インチウエハー用F50チャック

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    F50チャック-

    200mm

    4インチ、5インチ、6インチ、200mmウエハー用F50チャック

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    F50チャック-

    300mm

    4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mmウエハー用F50チャック

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    F50チャック-

    450mm

    4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mm、 450mmウエハー用F50チャックアセンブリ

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    F50チャック-

    カスタム

    F50用特注チャックも通常4週間以内にご利用いただけます。

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    F60チャック-

    200mm

    4インチ、5インチ、6インチ、200mmウエハー用F60チャック

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    F60チャック-

    300mm

    4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mmウエハー用F60チャック