膜厚標準サンプル

全てのフィルメトリクスの膜厚規格は米国標準技術局基準です

フィルメトリクスのアクセサリーについての詳細は、お問い合せフォームにてお問い合わせ下さい。

TS-Custom-NIST

お客様のサンプルからカスタムNISTトレーサブル較正を作成致します。ここをクリックし、 NISTトレーサブルスタンダードのアプリケーションノートをリクエスト下さい。
TS-Focus-SiO2-4-3100

焦点調整用パターン付き膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約3100ÅのSiO2膜がついています。
TS-Focus-SiO2-4-10000

焦点調整用パターン付き膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約10000ÅのSiO2膜がついています。
TS-Hardcoat-4µm

アクリル上ハードコートの膜厚標準サンプル。膜厚約4µm、サンプル直径2インチ。
TS-Hardcoat-Trans

透過率測定用サンプル。透明基板にハードコートされています。
TS-Parylene-4µm

アクリル上にパリレンがコートされた膜厚標準サンプル。膜厚約4µm、サンプル直径2インチ。
TS-Parylene-8µm

シリコン上にパリレンがコートされた膜厚標準サンプル。膜厚約8µm、サンプルサイズ23mmｘ23mm角
TS-SiO2-4-7200

4インチシリコンウエハー上のSiO2膜厚標準サンプル。膜厚約7200Å
TS-SiO2-4-7200-NIST

TS-SiO2-4-7200のNISTトレーサブル版
TS-SiO2-6-Multi

シリコンウエハー上に６つの異なる膜厚のSiO2を形成したスタンダード。設定膜厚：125Å、250Å、500Å、1000Å、5000Å、10000Å(実膜厚は設定膜厚の±10%、正確さは2Å以内)。6インチウエハー。
TS-SS3-SiO2-8000

SiO2膜厚標準サンプル。膜厚約8000Å。SS-3標準ステージ用。