膜厚標準サンプル

フィルメトリクス社のアクセサリーについての詳細は03-4578-9347にお電話いただくか、お問い合せフォームにてお問い合わせください。


TS-SiO2-6-Multi		シリコン上のSiO2多重厚スタンダード、125A、250A、500A、1000A、2500A、10000A(誤差10%)、6インチウエハー。

TS-Custom-NIST		お客様のサンプルのカスタムNISTトレーサブル較正を作成いたします。ここをクリックし、 NISTトレーサブル標準カタログをご覧ください。

TS-Focus-Si02-4-10000		焦点に合わせた膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約10000ÅのSiO2膜

TS-Focus-Si02-4-3100		焦点に合わせた膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約3100ÅのSiO2膜

TS-Hardcoat		アクリル上ハードコートの膜厚標準サンプル。膜厚約4um、サンプル直径2インチ。

TS-Hardcoat-Trans		透明な基板の透過率測定用ハードコート測定サンプル

TS-Hardcoat-NIST		NISTトレーサブルTSハードコート

TS-Parylene-3µm		アクリル上Paryleneの膜厚標準サンプル。膜厚約3um、サンプル直径2インチ。

TS-Parylene-8um		シリコン上Paryleneの膜厚標準サンプル。膜厚約8um、サンプルサイズ23mmｘ23mm

TS-Parylene-8µm-NIST		NISTトレーサブルTS-Parylene-8µm.

TS-Si02-4-7200		4インチシリコンウエハー上のSiO2膜厚標準サンプル。膜厚約7200A

TS-SiO2-4-7200-NIST		NISTトレーサブルTS-SiO2-4-7200