膜厚標準サンプル

全てのフィルメトリクスの膜厚規格は米国標準技術局基準です

フィルメトリクスのアクセサリーについての詳細は、03-4578-9347にお電話頂くか、お問い合せフォームにてお問い合わせ下さい。

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    TS-Custom-NIST

    お客様のサンプルからカスタムNISTトレーサブル較正を作成致します。 ここをクリックし、 NISTトレーサブルスタンダードのアプリケーションノートをリクエスト下さい。

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    TS-Focus-SiO2-4-3100

    焦点調整用パターン付き膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約3100ÅのSiO2膜がついています。

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    TS-Focus-SiO2-4-10000

    焦点調整用パターン付き膜厚標準サンプル。4インチシリコンウエハー上に約10000ÅのSiO2膜がついています。

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    TS-Hardcoat-4µm

    アクリル上ハードコートの膜厚標準サンプル。膜厚約4µm、サンプル直径2インチ。

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    TS-Hardcoat-Trans

    透過率測定用サンプル。透明基板にハードコートされています。

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    TS-Parylene-4µm

    アクリル上にパリレンがコートされた膜厚標準サンプル。膜厚約4µm、サンプル直径2インチ。

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    TS-Parylene-8µm

    シリコン上にパリレンがコートされた膜厚標準サンプル。膜厚約8µm、サンプルサイズ23mmx23mm角

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    TS-SiO2-4-7200

    4インチシリコンウエハー上のSiO2膜厚標準サンプル。膜厚約7200Å

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    TS-SiO2-4-7200-NIST

    TS-SiO2-4-7200のNISTトレーサブル版

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    TS-SiO2-6-Multi

    シリコンウエハー上に6つの異なる膜厚のSiO2を形成したスタンダード。設定膜厚:125Å、250Å、500Å、1000Å、5000Å、10000Å(実膜厚は設定膜厚の±10%、正確さは2Å以内)。6インチウエハー。

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    TS-SS3-SiO2-8000

    SiO2膜厚標準サンプル。膜厚約8000Å。SS-3標準ステージ用。