膜厚測定アプリケーション

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• アモルファスとポリシリコン

  膜厚測定、結晶化度、全てのアモルファスとポリシリコンのnとk

• CMP

  F80膜厚測定システムは、酸化物、STI、金属CMPプロセスの測定に使用されています。

• 誘導体

  フィルメトリクスは産業界で使用される数千もの誘導体膜の測定システムを取り揃えています。

• ガラス、プラスチック厚

  ガラスとプラスチック材料を13mmの膜厚まで測定。

• ハードコート厚

  フィルメトリクスのシステムはハードコートやプライマー厚を測定する自動車業界で幅広く使用されています。

• IC故障解析

  F20-XTはシリコンの裏面シニング測定をするチップ産業で使用されています。

• ITOとその他のTCO

  当社独自の解析アルゴリズムにより、TCO厚、屈折率、kの測定が測定ボタン一つで可能です。

• 医療機器

  血管形成バルーン、ステント、インプラントコーティング、その他多数の膜厚を測定します。

• 金属厚測定

  金属膜の膜厚、屈折率、kを50nmまで測定します。

• OLEDs

  NPB、lQ3、PEDOT、P3HT、soluble Teflons等の膜厚と屈折率を測定します。

• 眼鏡コーティング

  F10-ARで屈折率、色、反射防止、ハードコート層厚の測定が可能です。

• プリフラックス/銅　表面処理

  プリフラックスはF42の2次元マッピングシステムで測定します。

• Paryleneコーティング

  paryleneコーティングサンプルをF10-PAのステージ上に置くだけで膜厚の測定が可能です。

• フォトレジスト

  当社は数十もの異なるレジストを測定しており、屈折率ファイルもお使いのレジストに応じて作成できます。

• 多孔質シリコン

  多孔質シリコン膜の膜厚、多孔率、屈折率、kを測定します。

• プロセス膜

  フィルメトリクスは半導体プロセス膜の測定用に完全なシステムを取り揃えています。

• 屈折率とk

  200-1700nm範囲の屈折率と減衰係数を測定

• シリコンウエハーと膜

  フィルメトリクスはシリコンを2mm厚まで測定する為の卓上、マッピング、製造システムを取り揃えています。

• ソーラーアプリケーション

  CdTe、CdS、CIGS、アモルファスシリコン、TCO、反射防止層、その他の膜厚を測定します。

• 半導体教育研究機関

  50以上のF20が大学機関研究所で使用されています。

• ウェブコーティング

  フィルメトリクスのシステムはインラインのポリマー膜厚測定用に幅広く使用されています。