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液晶ディスプレイ、多様の有機発光ダイオード、その他フラットパネルディスプレイ技術では、透明導電膜（TCO)で電気を伝え、これが各ピクセルでアノードとして機能します。 他の薄膜プロセス同様、ディスプレイを構成する各層の膜厚を把握することが重要です。 これにはLCDではポリイミドと液晶層の測定、有機発光ダイオードでは発光層、注入層、封入層の測定が必要です。
複数の層からなる積層構造の測定には、反射率スペクトラム法や偏光解析法など光学的な手法を使って、各層の厚みと光学定数（屈折率と誘電率）を測定するか、正確にモデリングをする必要があります。
残念ながら、ディスプレイで主に使用されるITOやその他の透明導電膜の特殊な光学特性のために、これら層の測定やモデリングは非常に困難で、その上に積み上げられた材質の測定も困難なものとなります。
フィルメトリクスのITOソリューション
フィルメトリクス社では、正確なITO測定のために、スペクトラム反射率を用いた簡単な方法を開発しました。
この方法は、新しいITOモデルと測定波長の広い(400-1700nm)F20-EXR
を組み合わせて得られたもので、ITOの膜厚の解析がワンクリックでで可能です。ITO層の解析終了後、その他の層の解析に進むことができます。
ディスプレイの基礎研究から製造まで、フィルメトリクスは必要な手段を提供いたします。
• 液晶層の測定
- ポリイミド、ハードコート、液晶、エアギャップ
• 有機発光ダイオード層の測定
- 発光層、注入層、バッファー層、封入層
パターンのないサンプルにはF20シリーズを、パターン済のサンプルにはF40とF42シリーズが適しています。
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