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フィルメトリクス社では、Microsoft社 Winodw®XP/Vista搭載パソコンでご利用頂ける膜厚測定システムが、豊富にラインナップされています。アクセサリーオプションを用いることで使用用途も広がり、お客様の様々な測定のご要望にお答えできます。 |
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特定用途専用の測定システム
| F10-AR |
眼鏡レンズなど曲面サンプルの反射率を測定。 オプションでハードコート膜厚、透過率の測定も可能。
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| F10-HC |
ハードコートや曇り止め層の膜厚と屈折率を測定。 自動車のヘッドライトなどのポリカーボネート上のハードコートコーティングなどを測定するのに最適。 用される。
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| F10-PA |
パリレンの膜厚測定をハンズフリーで実現。
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| F10-VC |
反射率と透過率を同時測定。 オプションで膜厚と屈折率の測定も可能。 真空コーティングなどの測定に最適。
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豊富な解析機能を備えた汎用膜厚測定システム
| F20 |
全世界で数千台の導入実績。 豊富な測定波長プロダクトラインナップとアクセサリー。
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| F20-XT |
厚膜サンプル専用 - 最大0.5mmの
薄膜シリコン の測定に最適。
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オンライン モニターシステム
| F30 |
MOCVD、スパッタリング等のデポジションプロセス中に反射率、膜厚、デポジションレイトをモニター。
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| F37 |
インライン 膜厚測定装置ー最大７チャンネルのプローブをサポート。 |
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顕微鏡式膜厚測定システム
| F40 |
最小2.5umの微小領域の膜厚と屈折率の測定が可能。既設の顕微鏡に取り付けが可能
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| F42 |
2次元顕微膜厚マッピングシステム |
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ブランケットサンプル向け自動膜厚マッピングシステム
| F50 |
F20シリーズに自動マッピング機能を付加。 膜厚と屈折率は最速毎秒2ポイント測定し、マッピング可能。
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F50-XY-
450 |
大型サンプル(直径300mm超)向けの測定システム。
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| F60-t |
製造現場仕様の卓上マッピングシステム。オンボードリファレンス、ノッチ検出、インターロック カバーその他を搭載。
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パターン済半導体サンプル向け自動膜厚マッピングシステム
| F80-t |
製造現場仕様の卓上パターン済ウエハー用マッピング システム。21秒間に15ポイント測定が可能。
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| F80-c |
F80-t のカセット‐カセット版。 300mmまでのウエハーをサポート。
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| F80-a |
ウエハー搬送ツール組み込みの自動ウエハー膜厚マッピング。 300mmまでのウエハーをサポート。
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