|
|
 |
 |
膜厚測定ガイドブック
フィルメトリクス社では、わかりやすい膜厚測定ガイドブック、Taking the Mystery Out of Thin-Film Measurement、TMO ガイドを作成しました。 このガイドは、お客様に反射率スペクトラムの物理学をより良くご理解いただくためのものです。
このガイドブック「Taking the Mystery Out of Thin-Film Measurement」は全12ぺージ。薄膜産業に携わる方にはどなたでもお役に立てていただけると思います。 膜のデポジション、測定、薄膜の利用など、仕事の内容に関わらず、反射率スペクトラムの原理に対する理解は有用な知識となります。
TMOガイドでは、最初に薄膜技術に関して簡単に述べた後、一層もしくは複数層の両方の反射率スペクトラムについて、その複雑な内容を噛み砕き、また膜厚測定と光学定数の関係も明らかにします。 最後の章で反射率スペクトラム手法とエリプソメータ手法の比較をします。
TMOガイド リクエストで「Taking the Mystery Out of Thin-Film Measurement」を入手して、反射率スペクトラムの物理学の理解を深めてください。 ハードコピーが必要でない場合は、ＰＤＦ版を電子メールでお送りします。
|
 |
|
| |
|
|
