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フィルメトリクス社では、非金属の半導体プロセスフィルム測定用の幅広い製品をご用意いたしております。
F20 はシングルポイントでの膜厚と屈折率を測定する卓上システムです。
顕微領域での測定（2.5ミクロンまで）には、F40 をお使いの顕微鏡に取り付けてご使用いただけます。
ウエハー全体の膜厚の傾向を測定するには、サンプルの任意の場所を一ポイントずつ自動で測定し、マッピング表示する F50が最適です。F80はパターン済製品ウエハーの膜厚マッピングが可能です。
F80は、Imaging technology 技術（特許取得済み）で、従来の膜厚測定ツールよりも、省スペースで、簡単に測定パラメータが設定でき、強力なパターン認識を備え低いコストを実現しました。 ロボット搬送装置付きスタンドアローンシステム、インテグレーションシステムの両方を取り揃えております。
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