シリコンウエハーと膜

フィルメトリクスは1nmから2mmまでのシリコンウエハーと膜厚を測定するための卓上、マッピング、そして製造システムを提供しています。

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フィルメトリクスは無料のお試し測定を行っています。 - 結果は大抵1-2日です。

*膜厚範囲はモデル、オプション、材質、測定材料により異なります。
膜厚測定範囲* アプリケーション 製品ライン
5µm - 1mm シングルスポット F3-sX
1nm - 200µm シングルスポット F20
0.1µm - 2mm シングルスポット F70-NIR
3nm - 1mm 膜厚マッピング F50
1nm - 1mm カセット-ツウ-カセット F60-c