薄膜原理を理解する

フィルメトリクスでは、わかりやすい膜厚測定ガイドブック｢薄膜原理についての資料｣を作成しました。 この資料は皆様に分光反射率の物理学をより良くご理解いただくためのものです。

このガイドブック「薄膜原理についての資料」は全12ぺージ。薄膜産業に携わる方にはどなたでもお役に立てていただけると思います。膜のデポジション、測定、薄膜の利用など、仕事の内容に関わらず、分光反射率の原理に対する理解は有用な知識となります。

｢薄膜原理についての資料｣では、最初に薄膜技術に関して簡単に述べた後、単層もしくは複層膜の両方の分光反射率について、その複雑な内容を噛み砕き、また膜厚測定と光学定数の関係も明らかにします。 最後の章で分光反射率手法とエリプソメトリーの比較をします。