F30シリーズ

デポジションモニタリングシステムのための最強システム

F30分光反射率システムでリアルタイムのデポジション率、膜厚、光学定数（屈折率と消衰係数）、半導体と誘電体層の均一性を測定します。

例えば以下のような層を測定します

MBEとMOCVD: スムーズな半透明膜、もしくは少し吸収のある膜を測定することができます。 これには、AlGaN、GaInAsPなどのほとんどの半導体材料が含まれています。

利点

• 生産性の大幅な向上
• 経済的 ‐ 数ヶ月間で投資を回収
• 精度 ‐ 誤差は±1%以内
• 高速 ‐ 瞬時に測定
• 非侵襲 ‐ 全てチャンバーの外に設置可能
• 簡便 - 簡単に使えるWindowｓ™上のソフトウェア
• 数分で設置可能なターンキーシステム