F42

顕微エリアの高分解能膜厚マップ

F42は、最小3ミクロンのスポットの測定を、100万ポイント以上で行い、OSPなどの膜厚マップを作成します。 内蔵のCCDカメラでビデオ画像を見ながら操作できるので、測定場所を正確に把握することができます。 測定したい場所を視野に入れて、測定エリアをボックスで囲めば解析できます。

ピクセル幅のスポット

膜厚測定は、各ピクセル表示で行ない、最小の測定スポットのサイズは3ミクロンです。 このため、狭い管や空洞でも測定が可能になりました。

マッピング

F42のマッピング機能を用いて、均一性をチェックすることが出来ます。 クリック1回で、100万ポイント以上で膜厚を解析し、理解しやすいグラデーションマップとして表示します。 平均膜厚値など統計データの表示や、測定膜厚値が閾値外になった場合のエラー表示も自動的に行われます。 適合度機能を使用して、解析したい膜構造の部分だけをマッピング表示することが可能です。