F50シリーズ

自動マッピング膜厚測定システム

F50は、高精度膜厚測定と高速自動ステージを兼ね備えた自動マッピング膜厚測定システムです。 長寿命 R-Θ モーター駆動ステージとオプションチャックを組み合わせることで、2インチから最大450mmまでのウエハーに対応できます。

同心円、長方形、線形など任意に測定箇所を設定できます。

膜厚など膜の特性に応じて、最適な機種をご利用いただけます。 短い波長の製品群(F50-UV, F50)は薄い膜の測定に、長い波長の製品群(F50-EXRやF50-NIR)は厚膜もしく粗さがあるサンプルの測定に適しています。

付属品:

モデル仕様

*膜材料その他の条件により異なります
モデル 膜厚測定範囲* 波長範囲
F50 20nm-70µm 380-1050nm
F50-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F50-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F50-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F50-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F50-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F50-XXT 5µm-3mm 1520-1580nm
膜厚測定範囲*

特典:

  • 130種類以上のマテリアルライブラリ
  • アプリケーションエンジニアのサポート
  • インターネットサポート
  • ハードウェアのアップグレードプログラム

主なオプション