自動マッピング膜厚測定システム

フィルメトリクスF50シリーズは1秒で2箇所の膜厚マッピングが可能です。自動Rシータステージが直径450mmまでのサンプルの標準又はカスタムチャックを装備できます。マップパターンは極性、長方形、線状、又は測定箇所数の制限なしに必要に応じて設定できます。数十の設定済みマップパターンが既に搭載されています。

測定波長や膜厚範囲に応じて、各種F50がラインナップされています。標準F50が一番売れ筋の商品です。通常、短い波長の製品（例えば F50-UV）は薄い膜の測定に適しており、長い波長の製品は、厚膜、表面粗さがあるサンプル、不透明な膜の測定に適しています。