F60シリーズ

半導体製造工程用自動マッピング膜厚測定システム

F60-t シリーズは、F50シリーズの膜厚測定マッピング機能に加えて、製造現場で必要とされる機能を多数追加した特殊モデルです。 自動ノッチ検出、自動ベースライン、インターロック機構自動ステージ、ソフトウェア内蔵工業用コンピューターなどの機能が搭載しており、半導体ウェハ取扱ロボット用通信ソフトのアップグレードも可能です。

膜厚など膜の特性に応じて、最適な機種をお選びいただけます。 短い波長の製品群(F60-UV, F60)は薄い膜の測定に、長い波長の製品群(F60-NIR, F60-EXR)は厚膜もしく粗さがあるサンプルの測定に適しています。

付属品:

モデル仕様

*膜材料その他の条件により異なります
モデル 膜厚測定範囲* 波長範囲
F60-t 20nm-70µm 380-1050nm
F60-t-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-t-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-t-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-t-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-t-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-t-XXT 5µm-3mm 1520-1580nm
膜厚測定範囲*

特典:

  • 130種類以上のマテリアルライブラリ
  • アプリケーションエンジニアのサポート
  • インターネットサポート
  • ハードウェアのアップグレードプログラム

主なオプション