F60-c

製造現場用自動カセット-ツウ-カセット薄膜厚マッピングシステム

FilmetricsのF60-cシリーズはF50と同様に膜厚と屈折率をマップしますが、製造現場用に特別に作られた特徴も持っています。これには、自動ノッチ検出、自動 搭載ベースライン、モーションインターロック搭載測定ステージ、インストール済みソフトウエア搭載工業用コンピューター、そしてカセット-ツウ-カセットロボットウエハー処理を含みます。

異なるF60-cシステムは膜厚と波長範囲により主に区別されます。通常より短い波長 (例としてF60-c-UV)はより薄い膜の測定に必要で、長い波長はより厚みのあり、粗く、より不透明な膜の測定に適しています。