F60シリーズ

製造現場用自動マッピング膜厚測定システム

F60-t シリーズは、F50シリーズの膜厚測定とマッピング機能に加えて、製造現場で必要とされる機能を多数追加した上位モデルです。 追加された機能は、自動ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構、ソフトウェア内蔵工業用コンピューター、ウェハー測定にアップグレード可能なオプションもあります。

測定波長範囲に応じて、各種F60-tがラインナップされています。通常、短い波長の製品は（例えば F60-UV）は薄い膜に適しており、長い波長の製品は、厚膜、表面粗さがあるサンプル、不透明な膜の測定に適しています。