F80-t

製品ウエハーの測定に対応した膜厚測定システム

プロセスエンジニアには、高速かつ効率的に膜厚を測定することが要求されます。 フィルメトリクス社の革新的なThickness Imaging(膜厚イメージ)™技術は、低価格、容易な設定で、業界有数の処理能力を可能にしました。

従来の測定システムのような1ポイントずつ膜厚測定を行なう技術とは異なり、測定ポイント付近の数千もの膜厚データを取得し、高速に膜厚イメージを作成します。 この画期的なシステムで、以下のことが可能になりました。

低価格タイプ、マニュアルタイプの卓上システムから、完全自動化のウエハー搬送ロボット対応スタンドアローン測定システムまで取り揃えています。F80は、CMP、CVD、PVD、ウエハートラック プロセスエンジニアが捜し求めていた製品です。

Thickness Imaging は、 Filmetrics Inc. の商標です。

Thickness Imaging技術はR&D 100アワードに輝きました。