PARTS

垂直及び傾斜反射率、透過率、スキャトロメトリの同時測定PARTSシステム

PARTSシステムは、当社の既存製品の反射率と透過率同時測定プラットフォームに、光波散乱計測と斜入射反射率を追加し開発されたシステムです。 結果として、モデルなしで単層膜の膜厚、n、kの測定が可能になりました。測定ボタン一つで複雑な複層膜の完全解析も可能です。

分析における利点

ソーラーパネルやOLEDなどの高度な薄膜用途の解析では、垂直(0度)と傾斜(70度)の反射率と透過率の組み合わせは非常に効果的です。特に、3つの既知数(R0、R70、T0)により、3つの未知数の厚さ、n、kが容易に決定できます。光波散乱計測を追加することにより粗さは独立して計測され、その為他の分析から離すことが出来ます。

頑丈で環境にやさしいパッケージ

PARTSシステムは参照標準を装備しています。小型フットプリントとUSB接続により、簡単に設定が可能です。部品は不動のためランプを交換する以外にメンテナンスは不要です。また、2年間の保障付きで安心です。

付属品:

モデル仕様

*膜材料その他の条件により異なります
モデル 膜厚測定範囲* 波長範囲
PARTS 5nm-40µm 380-1050nm
PARTS-UV 1nm-40µm 190-1100nm
PARTS-EXR 50nm-150µm 380-1700nm

特典:

  • 130種類以上のマテリアルライブラリ
  • アプリケーションエンジニアのサポート
  • インターネットサポート
  • ハードウェアのアップグレードプログラム