世界初、高性能で低価格 3D表面形状測定システム:

Profilm3D

高性能 低価格 光学式形状測定システム

フィルメトリクス社から、従来の触針式粗さ計や段差計に比べ、高いコストパフォーマンスと優れた操作性の両立を実現した光学式表面形状測定システムが登場。

誰でも簡単に表面形状、段差と粗さの測定が出来ます。金属の段差測定もお任せ下さい。

垂直走査白色干渉(VSI)とナノメートル以下の高い分解能を実現した位相シフト干渉(PSI)を同時搭載した最先端システムです。

品質管理にも研究開発にも使える段差測定・表面粗さ測定システム

非接触光学式段差計は、表面形状の測定手法において主要な原理の一つとなっております。一度のスキャンで三次元形状の測定が完了し、表面形状の特徴を示すパラメーターを多く算出できるのが光学式の強みです。 使用用途は多岐にわたり、半導体や自動車関連の製品分野から、素材産業にいたるまで多くのアプリケーションに対応が可能です。

標準品に必要な機能を網羅

チップ/チルトステージ、自動XYステージなど測定に必要なものがすべて標準品に含まれています。

段差標準サンプル

測定装置が正常に稼動しているか確認するために、段差標準サンプルを提供しています。 10μmの段差サンプルと、100nm、2μm、4μm複数の段差があるサンプルの2種類をご用意しています。

広い観察エリア

10倍対物レンズ使用時でも2mm角の広い視野があり、デジタルズームを併用することにより様々な観察エリアをお選びいただけます。幅広い要求に対応するための対物レンズ、手動・自動レボルバー等のオプションがございます。

測定仕様

膜厚測定範囲,VSI 50 nm - 10 mm
膜厚測定範囲,PSI 0 - 3 μm
反射率対応範囲 0.05% - 100%
動作環境

装置仕様

Z軸駆動範囲 100 mm
ピエゾ (PZT) 範囲 500 μm
XYステージタイプ 自動
XYステージ稼動範囲 100 mm x 100 mm
カメラ 2592 x 1944 (5 Mピクセル)
装置寸法,幅×奥行×高さ 300 mm x 300 mm x 550 mm
装置重量 15 kg

対物レンズ仕様 1 (Nikon CF IC Epi Plan)

倍率 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
視野 8.0 x 6.8 mm 4.0 x 3.4 mm 2.0 x 1.7 mm 1.0 x 0.85 mm 0.4 x 0.34 mm 0.2 x 0.17 mm
サンプリング間隔2 3.52 μm 1.76 μm 0.88 μm 0.44 μm 0.176 μm 0.088 μm
1 別売り
2 サンプル上の画像サイズ

主なオプション