F54-XYシリーズ

F54-XYシリーズ 自動マッピング膜厚測定システム

パターン付きウエハーを自動膜厚マッピング

F54-XYシリーズ　自動マッピング膜厚測定システムは、300mmまでのウエハー上の膜厚を簡単にマッピングできます。F54-XY-200では、自動XYステージにより、最大200mmのサンプル上の指定した測定ポイントを、1秒間に2ポイントという速さで測定できます。F54-XYT-300は、高性能ロータリーステージを追加することで、300mmウエハーの測定に対応しています。

F54-XYシリーズ　自動マッピング膜厚測定システムでは、測定ポイントのマップパターンを、極座標、直交座標、線座標から選択するか、カスタムで測定ポイント数に制限なく独自のマップパターンを作成できます。また、オプションのパターン認識ソフトウェアは、パターン付きサンプルの測定をサポートしています。

F54-XYシリーズのモデルは数種あり、主に膜厚測定範囲と分光波長範囲によって異なります。一般的に、より薄い膜の測定にはより短い波長（例えば、F54-XY-200-UV）が必要ですが、より長い波長では、より厚く、粗く、光を通しにくい膜の測定が可能です。