付属品:
- 光源一体型分光器ユニット
- FILMeasure8膜厚解析ソフトウエア
- FILMeasure単独ソフトウェア
- リファレンスサンプル
- 膜厚標準ウエハーサンプル
- フラッタリングフィルター (高反射率基板用)
- APPLICATION_BULLETS_SpareTH2lamp
モデル仕様
| 機種 | 膜厚測定範囲* | 波長範囲 |
|---|---|---|
| F32 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
| F32-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
| F32-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F32-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
| F32-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
| F32-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| BREADCRUMB_f32sx | 10µm - 3mm | 960-1580nm |
膜厚測定範囲*
特典:
- 130種類以上のマテリアルライブラリ
- アプリケーションエンジニアのサポート
- インターネットサポート
- ハードウェアのアップグレードプログラム
