アモルファス & ポリシリコン

元素シリコンはアモルファスや結晶の形で存在し、この両極端の中間に部分結晶シリコンが存在します。部分的に結晶したものはよく多結晶シリコン、または省略してポリシリコンと呼ばれます。

アモルファスとポリシリコンの光学定数(n と k)は析出条件に特有で、正確な厚さを計測しなければなりません。粗さやシリコン膜の結晶化度の格付けもまた考慮し、厚さとともに測定しなければなりません。

フィルメトリクスの測定システムは高機能測定方法を用い、測定ボタン一つで必要な個々のシリコン膜のパラメーターを同時に測定しレポートします。