F37

インライン、最大7箇所の同時膜厚測定システム

汎用な測定例

滑らかな半透明膜、もしくは少なくとも部分的に光が通せる膜を測定することができます。 大半の測定対象は薄膜太陽発電に用いられている薄膜材料です。

汎用な測定例

MBEとMOCVD成膜 : 滑らかな半透明膜、もしくは少し光吸収性がある膜を測定することができます。 主にはAlGaN、GaInAsPなどの半導体材料の測定に用いられてます。

利点

  • 生産性の大幅な向上
  • 経済的 ‐ 数ヶ月間で投資を回収
  • 精度 ‐ 誤差は±1%以内
  • 高速 ‐ 瞬時に測定
  • 非侵襲 ‐ 全てチャンバーの外に設置可能
  • Windows™上に簡単に使えるソフトウェア
  • 数分で設置可能なターンキーシステム

モデル仕様

*膜材料その他の条件により異なります
モデル 膜厚測定範囲* 波長範囲
F37-SPEC-2 15nm-100µm 380-1050nm
F37-SPEC-2-UV 3nm-40µm 190-1100nm
F37-SPEC-2-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F37-SPEC-2-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F37-SPEC-2-XXT 5µm-3mm 1520-1580nm