F37

インラインそして同時に最高7箇所まで膜厚測定

例えば以下のような層を測定します

スムーズで多少の透明性のある膜ならほとんど全て測定することができます。 これには、薄膜太陽発電に用いられている材料や、ほとんどの半導体材料が含まれます。

利点

• 生産性の大幅な向上
• 経済的 ‐ 数ヶ月間で投資を回収可能
• 精度 ‐ 誤差は±1%以内
• 高速 ‐ 瞬時に測定
• 非侵襲 ‐ 全てチャンバーの外に設置可能
• 簡便-簡単に使用できるWindows™ソフトウェア
• 数分で設置可能なターンキーシステム