屈折率と消衰係数
フィルメトリクスのシステムは測定ボタン一つで瞬時に190-1700nmまでの波長の屈折率と減衰係数を測定します。ほとんどの場合、特にSi3N4やITO、その他よく使用される材料で膜が吸収しているものや透明基板上のものは、当社の正確性は、より複雑でより高価な エリプソメトリーより優れています。
フィルメトリクスは無料サービスとして屈折率測定も提供しています。また、もし何か特定のも材料をご覧になりたい場合、 屈折率一覧表をご参照下さい。
測定例
フィルメトリクスの膜厚測定システム(特にF10-RTとF10-RTAシステム)は、困難を伴う材質をすばやく測定するのに理想的です。当社のFILMeasureソフトウエアを熟知する必要なく、複雑な光学定数が得られます。このサンプルでは、石英ガラス上のMEH-PPVの単膜の反射率と透過率スペクトルが正確に(そして同時に)膜厚、屈折率、消衰係数を測定するために形成されました。 このサンプルでは Bridge Lorentzian-3 Term モデルが成功して用いられました。更に、FILMeasureはその他の光学モデルの広範囲に及ぶライブラリを備えています。当社のユーザーコントロールによるソルバーは正確な結果をすばやく取得します。測定セットアップ:
F10-RT
使用されたレシピ:
測定結果:
